平面研具有研磨平板和研磨圆盘。研磨平板多制造成易于获得平面精度的正方形。规格为200mm*200mm、300mm*300mm、400mm*400mm。研磨盘为机用研具，环宽视工件和研磨轨迹而定，一般为工件长度的0.8~1.2倍。
　　湿研研具常在平板上加工出相隔15~20mm、相交成90°或60°的沟槽，槽宽为1~3 mm ，槽深为1~2 mm。
　　圆盘研具表面加工出螺旋槽，其螺旋方向应使研磨盘旋转时，研磨液向内循环移动，与离心力抵消，防止研磨液在离心力作用下甩出，以使研磨液充分利用。如用研磨膏时，应采用阿基米德螺旋槽为好。